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 基于离子束溅射大口径光学元件平坦化层均匀性研究

冯时 付秀华 王大森 李晓静 聂凤明 张旭

[摘要]针对大口径光学元件溅射沉积膜厚不均匀的问题, 采用离子束溅射平坦化层来改善光学元件表面粗糙度。利用膜厚检测仪测出光学元件沉积面上的中心区域以及各边缘区域的膜厚值, 计算离子束在光学元件中心与边缘驻留时间比,。。。

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(01):0131002

 基于稀疏矩阵的光学元件表面疵病检测

陈晨 王红军 王大森 田爱玲 刘丙才 朱学亮 刘卫国

[摘要]提出了一种基于稀疏矩阵的表面疵病快速拼接方法。该方法采用环形白光光源均匀地照射到被测元件表面, 光经显微散射暗场成像系统后形成暗背景下的亮疵病图像。通过对光学元件的x, y方向进行扫描, 得到子孔径拼接图像。...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(04):0404007

 装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响

赵思伟 田爱玲 王大森 刘丙才 朱学亮 刘卫国

[摘要]针对立式大口径平面干涉仪, 采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法, 研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响。运用ANSYS有限元分析方法研究了不同参数下的装夹和自重变形情况, 得到了最。。。

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0212004

 波长调谐干涉测量的相移标定方法

田爱玲 马迪 王大森 刘剑 刘丙才 朱学亮

[摘要]基于菲索干涉的变频相移技术, 提出一种分步相移标定方法.生成n组t步相移干涉图,每步相移为π/2;将每步的n组干涉图分别与初始干涉图做相乘和傅里叶变换运算, 在此基础上构建每步相移的误差函数;通过求取误差函数极值点...

 PDF全文光子学报 | 2016, 45(07):070712001

 pk10开奖结果影响方形非球面光学元件加工精度的工艺研究

吴庆堂 聂凤明 王大森 史国权 吴焕 李珊 郭波

[摘要]分析了方形非球面光学元件磨削加工中产生四角塌边误差的原因,计算了方形非球面光学元件磨削加工时砂轮轴系两种安装方式的磨削系统刚度,讨论了砂轮轴系安装的位置对加工精度的影响,进行了砂轮轴系两种安装方式的方...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(03):0316001

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